Apa persyaratan kemurnian yang sangat tinggi mengatur pipa gas?
Standar semi f72 untuk finish permukaan . outgassing<5×10⁻¹⁰ torr·L/sec/cm². Particle counts <0.1 particles/cm³ (>0 . 1μm). Kadar air<10 ppb. Metallic impurities <1 ppb.
Bagaimana lasan distribusi gas disiapkan?
Pengelasan orbital dengan argon kemurnian ultra-tinggi . pengelasan ganda-pass untuk garis kritis . electropolishing ke 0 . 25μm ra . Pasivasi dengan asam nitrat . final rinsing dengan 18.2 mi m m m m m m m mi {{8 {8} {{6.2 mi {{8 {8 {8 {8.2.
Pengujian apa yang memvalidasi integritas pipa gas?
Helium leak testing to 1×10⁻⁹ atm-cc/sec. Residual gas analysis for contamination. Particle counting of purge gas. Moisture analysis by laser spectroscopy. Final certification with actual process gas.
Bagaimana kabinet gas terhubung ke sistem distribusi?
VCR Fitting-Sal-Seal Fittings untuk sendi leak-tight . penahanan sekunder purge purge . tubing berdinding ganda untuk gas berbahaya . landasan untuk kontrol statis . ORIFIFICE ORIFIF TERTINGGI UNTUK KEFORLAH {8}
Perawatan apa yang mencegah kontaminasi sistem gas?
Pengujian kebocoran tahunan semua koneksi . pemantauan partikel selama perubahan gas . verifikasi kualitas gas pembersih biasa . pemeliharaan pengemasan katup . Prosedur kontrol perubahan yang ketat .
